\u70ad\u5316\u30b1\u30a4\u7d20\uff08SiC\uff09\u306f\u3001\u91d1\u5c5e\uff08\u96fb\u6c17\u3092\u901a\u3059\uff09\u3068\u7d76\u7e01\u4f53\u306e\u4e2d\u9593\u306b\u4f4d\u7f6e\u3059\u308b\u91d1\u5c5e\u9593\u5316\u5408\u7269\u3067\u3042\u308a\u3001\u30d0\u30f3\u30c9\u30ae\u30e3\u30c3\u30d7\u304c\u5e83\u304f\u3001\u96fb\u5b50\u79fb\u52d5\u5ea6\u304c\u9ad8\u3044\u305f\u3081\u3001\u30d1\u30ef\u30fc\u30a8\u30ec\u30af\u30c8\u30ed\u30cb\u30af\u30b9\u7528\u9014\u306b\u306f\u9b45\u529b\u7684\u306a\u6750\u6599\u3067\u3042\u308b\u3002<\/p>\n
\u30b7\u30ea\u30b3\u30f3\u306f\u3001\u9ad8\u6e29\u3067\u306e\u5316\u5b66\u7684\u653b\u6483\u306b\u5bfe\u3059\u308b\u8010\u6027\u304c\u3042\u308a\u3001\u5e83\u3044\u6e29\u5ea6\u7bc4\u56f2\u306b\u308f\u305f\u3063\u3066\u5f37\u5ea6\u304c\u3042\u308b\u305f\u3081\u3001\u534a\u5c0e\u4f53\u7089\u306e\u62b5\u6297\u767a\u71b1\u4f53\u3084\u30b5\u30fc\u30df\u30b9\u30bf\u306b\u6700\u9069\u3067\u3042\u308b\u304c\u3001\u91d1\u5c5e\u3068\u306f\u7570\u306a\u308a\u3001\u96fb\u6c17\u3092\u52b9\u7387\u7684\u306b\u4f1d\u5c0e\u3057\u306a\u3044\u3002<\/p>\n
\u70ad\u5316\u30b1\u30a4\u7d20(SiC)\u306f\u975e\u5e38\u306b\u786c\u304f\u3001\u5f37\u976d\u306a\u6750\u6599\u3067\u3042\u308a\u3001\u69d8\u3005\u306a\u7528\u9014\u306b\u5408\u308f\u305b\u3066\u8abf\u6574\u3067\u304d\u308b\u591a\u304f\u306e\u30e6\u30cb\u30fc\u30af\u306a\u7279\u6027\u3092\u5099\u3048\u3066\u3044\u307e\u3059\u3002\u4f4e\u6e29\u3067\u306f\u7d76\u7e01\u4f53\u3001\u9ad8\u6e29\u3067\u306f\u5c0e\u4f53\u3068\u306a\u308bSiC\u306f\u3001\u8010\u706b\u7269\u3084\u5207\u524a\u5de5\u5177\u3001\u534a\u5c0e\u4f53\u88fd\u9020\u3001\u822a\u7a7a\u5b87\u5b99\u90e8\u54c1\u88fd\u9020\u3001\u71b1\u7ba1\u7406\u30b7\u30b9\u30c6\u30e0\u306a\u3069\u306e\u9ad8\u6e29\u7528\u9014\u306b\u6700\u9069\u306a\u6750\u6599\u3067\u3059\u3002<\/p>\n
\u70ad\u5316\u30b1\u30a4\u7d20\u306e\u5f37\u976d\u3067\u4e0d\u6eb6\u6027\u306e\u7d50\u6676\u69cb\u9020\u306f\u3001\u8150\u98df\u3084\u78e8\u8017\u306b\u975e\u5e38\u306b\u5f37\u3044\u3002\u70ad\u5316\u30b1\u30a4\u7d20\u306e\u30e2\u30fc\u30b9\u786c\u5ea6\u306f9\u3067\u3001\u786c\u5ea6\u306e\u70b9\u3067\u306f\u30c0\u30a4\u30e4\u30e2\u30f3\u30c9\u3088\u308a\u4e00\u6bb5\u4f4e\u3044\u3002\u8010\u885d\u6483\u6027\u3068\u8010\u71b1\u6027\u306b\u3088\u308a\u3001\u70ad\u5316\u30b1\u30a4\u7d20\u306f\u9244\u92fc\u3001\u8010\u706b\u30bb\u30e9\u30df\u30c3\u30af\u30b9\u3001\u7121\u6a5f\u5316\u5b66\u88fd\u54c1\u306e\u88fd\u9020\u306b\u4e0d\u53ef\u6b20\u306a\u539f\u6599\u3068\u306a\u3063\u3066\u3044\u307e\u3059\u3002<\/p>\n
SiC\u306f\u30014\u3064\u306e\u30b1\u30a4\u7d20\u3068\u70ad\u7d20\u306e\u56db\u9762\u4f53\u304c\u5171\u6709\u7d50\u5408\u3067\u7d50\u5408\u3057\u305f\u7070\u8272\u304b\u3089\u8910\u8272\u306e\u4e0d\u6eb6\u6027\u7269\u8cea\u3067\u3001\u9178\u3084\u30a2\u30eb\u30ab\u30ea\u306b\u4fb5\u3055\u308c\u306b\u304f\u304f\u30011600\u2103\u307e\u3067\u8010\u71b1\u6027\u304c\u3042\u308a\u3001\u8010\u4e45\u6027\u306b\u512a\u308c\u305f\u7121\u6a5f\u6750\u6599\u3067\u3059\u3002SiC\u306f\u3001\u4ed6\u306e\u70ad\u5316\u7269\u3001\u30bb\u30e9\u30df\u30c3\u30af\u30b9\u3001\u975e\u9244\u91d1\u5c5e\u3092\u7814\u524a\u3059\u308b\u969b\u306b\u3001\u305d\u306e\u786c\u3044\u8868\u9762\u6750\u6599\u3088\u308a\u3082\u58ca\u308c\u3084\u3059\u304b\u3063\u305f\u308a\u3001\u67d4\u3089\u304b\u304b\u3063\u305f\u308a\u3059\u308b\u512a\u308c\u305f\u6750\u6599\u3068\u306a\u308b\u3002<\/p>\n
\u591a\u5b54\u8ceaSiC\u306f\u3001\u305d\u306e\u5316\u5b66\u7d44\u6210\u3001\u52a0\u5de5\u6761\u4ef6\u3001\u5fae\u7d30\u69cb\u9020\u3001\u5177\u4f53\u7684\u306b\u306f\u30dd\u30ea\u30bf\u30a4\u30d7\u3001\u30c9\u30fc\u30d4\u30f3\u30b0\u30ec\u30d9\u30eb\u3001\u6c17\u5b54\u7387\u3001\u6dfb\u52a0\u5264\u7d44\u6210\uff08\u91d1\u5c5e\u7a92\u5316\u7269\u3084\u70ad\u5316\u7269\uff09\u306b\u5927\u304d\u304f\u4f9d\u5b58\u3059\u308b\u3002\u3055\u3089\u306b\u3001\u713c\u7d50\u96f0\u56f2\u6c17\u306f\u3001b-a\u9077\u79fb\u3092\u5909\u5316\u3055\u305b\u308b\u3060\u3051\u3067\u306a\u304f\u3001\u7d50\u6676\u76f8\u69cb\u9020\u3092\u5909\u5316\u3055\u305b\u308b\u3053\u3068\u306b\u3088\u308a\u3001\u305d\u306e\u96fb\u6c17\u4f1d\u5c0e\u6027\u306b\u5927\u304d\u306a\u5f71\u97ff\u3092\u4e0e\u3048\u307e\u3059\u3002<\/p>\n
\u6700\u8fd1\u3001\u3042\u308b\u7814\u7a76\u30c1\u30fc\u30e0\u304cY2O3\uff0bAlN\u7d44\u6210\u306e\u591a\u5b54\u8ceaSiC\u306e\u5c0e\u96fb\u7387\u306b\u53ca\u307c\u3059\u713c\u7d50\u96f0\u56f2\u6c17\u306e\u5f71\u97ff\u3092\u8abf\u67fb\u3057\u305f\u3002\u305d\u306e\u7d50\u679c\u3001Ar\u713c\u7d50\u306f\u3001\u771f\u7a7a\u713c\u7d50\u3068\u6bd4\u8f03\u3057\u3066\u3001b-a\u5909\u63db\u901f\u5ea6\u306e\u4f4e\u4e0b\u3068\u713c\u7d50\u4f53\u306eN\u30c9\u30fc\u30d4\u30f3\u30b0\u306b\u3088\u308a\u3001\u5c0e\u96fb\u7387\u3092\u4f4e\u4e0b\u3055\u305b\u308b\u306e\u306b\u512a\u308c\u3066\u3044\u308b\u3053\u3068\u304c\u5224\u660e\u3057\u305f\u3002<\/p>\n
\u7d14SiC\u306e\u30bc\u30fc\u30d9\u30c3\u30af\u4fc2\u6570\u306f-70\uff5e-200uV K-1\u3067\u3042\u308b\u304c\u3001\u5e02\u8ca9\u306eSiC\u539f\u6599\u7c89\u672b\u306b\u306f\u7a7a\u6c17\u4e2d\u306eN\u4e0d\u7d14\u7269\u304c\u542b\u307e\u308c\u3066\u3044\u308b\u305f\u3081\u3001n\u578b\u5c0e\u4f53\u3068\u3057\u3066\u4f1d\u5c0e\u3059\u308b\u3002\u3057\u304b\u3057\u30013-5% C\u6dfb\u52a0\u5264\u3092\u52a0\u3048\u308b\u3053\u3068\u306b\u3088\u308a\u3001\u305d\u306e\u5c0e\u96fb\u6027\u3092p\u578b\u306b\u5909\u5316\u3055\u305b\u308b\u3053\u3068\u304c\u3067\u304d\u308b\u3002<\/p>\n
\u70ad\u5316\u30b1\u30a4\u7d20\u306e\u96fb\u6c17\u4f1d\u5c0e\u7387\u306b\u306f\u6e29\u5ea6\u304c\u91cd\u8981\u306a\u5f79\u5272\u3092\u679c\u305f\u3057\u307e\u3059\u3002\u4f4e\u6e29\u3067\u306f\u3001\u70ad\u5316\u30b1\u30a4\u7d20\u306f\u96fb\u6c17\u306e\u6d41\u308c\u306b\u62b5\u6297\u3057\u3066\u7d76\u7e01\u4f53\u306e\u3088\u3046\u306b\u632f\u308b\u821e\u3044\u307e\u3059\u304c\u3001\u9ad8\u6e29\u3067\u306f\u3001\u305d\u306e\u7d50\u6676\u69cb\u9020\u306b\u3088\u3063\u3066\u30d5\u30a9\u30ce\u30f3\u304c\u3088\u308a\u81ea\u7531\u306b\u52d5\u304d\u3001\u96fb\u6c17\u304c\u3088\u308a\u901a\u308a\u3084\u3059\u304f\u306a\u308a\u307e\u3059\u3002<\/p>\n
\u70ad\u5316\u30b1\u30a4\u7d20\u306f\u3001\u30a2\u30eb\u30df\u30cb\u30a6\u30e0\u3001\u30db\u30a6\u7d20\u3001\u30ac\u30ea\u30a6\u30e0\u306a\u3069\u306e\u4e0d\u7d14\u7269\u3084\u30c9\u30fc\u30d1\u30f3\u30c8\u3092\u6ce8\u610f\u6df1\u304f\u6dfb\u52a0\u3059\u308b\u3053\u3068\u306b\u3088\u3063\u3066\u3001\u534a\u5c0e\u4f53\u7279\u6027\u3092\u793a\u3059\u3088\u3046\u306b\u6539\u826f\u3059\u308b\u3053\u3068\u304c\u3067\u304d\u308b\u3002<\/p>\n
\u70ad\u5316\u30b1\u30a4\u7d20\u306e\u7279\u6027\u306f\u3001\u9ad8\u51fa\u529b\u30c7\u30d0\u30a4\u30b9\u3084\u6700\u5148\u7aef\u306e\u7523\u696d\u7528\u30a2\u30d7\u30ea\u30b1\u30fc\u30b7\u30e7\u30f3\u306b\u3068\u3063\u3066\u975e\u5e38\u306b\u8cb4\u91cd\u306a\u6750\u6599\u9078\u629e\u3068\u306a\u308a\u307e\u3059\u3002\u3055\u3089\u306b\u3001\u5316\u5b66\u7684\u8150\u98df\u3084\u78e8\u8017\u306b\u5bfe\u3059\u308b\u8010\u6027\u304c\u3042\u308b\u305f\u3081\u3001\u6700\u5148\u7aef\u306e\u7528\u9014\u306b\u9069\u3057\u305f\u6c4e\u7528\u6027\u306e\u9ad8\u3044\u6750\u6599\u3067\u3059\u3002<\/p>\n
\u6e29\u5ea6\u304c\u70ad\u5316\u30b1\u30a4\u7d20\u306e\u5c0e\u96fb\u6027\u306b\u3069\u306e\u3088\u3046\u306a\u5f71\u97ff\u3092\u4e0e\u3048\u308b\u304b\u3092\u3088\u308a\u6df1\u304f\u7406\u89e3\u3059\u308b\u3053\u3068\u3092\u76ee\u7684\u3068\u3057\u305f\u7814\u7a76\u8005\u305f\u3061\u306f\u3001\u3088\u308a\u6df1\u3044\u6d1e\u5bdf\u3092\u5f97\u308b\u305f\u3081\u306b\u3001\u3055\u307e\u3056\u307e\u306a\u8907\u5408\u6750\u6599\u3084\u7e4a\u7dad\u3092\u7814\u7a76\u3057\u3066\u304d\u305f\u3002\u4f8b\u3048\u3070\u3001\u5316\u5b66\u6c17\u76f8\u6d78\u900f\u6cd5\u3067\u88fd\u9020\u3055\u308c\u305fSiC\u7e4a\u7dad\u3068\u30dd\u30ea\u30de\u30fc\u542b\u6d78\u71b1\u5206\u89e3\u6cd5\uff08PIP\uff09\u3067\u88fd\u9020\u3055\u308c\u305fSiC\u7e4a\u7dad\u306e\u96fb\u6c17\u4f1d\u5c0e\u6027\u3092\u6bd4\u8f03\u3057\u305f\u3002\u305d\u306e\u7d50\u679c\u3001PIP-SiC\u6750\u6599\u3068CVI-SiC\u6750\u6599\u306e\u71b1\u4f1d\u5c0e\u7387\u306e\u9593\u306b\u306f\u300120\uff5e1000\u2103\u306e\u7bc4\u56f2\u3067\u5927\u304d\u306a\u5dee\u304c\u3042\u308b\u3053\u3068\u304c\u793a\u3055\u308c\u305f\u3002<\/p>\n
\u7814\u7a76\u8005\u3089\u306f\u307e\u305f\u3001\u70ad\u7d20\u542b\u6709\u91cf\u304c\u6750\u6599\u306e\u5c0e\u96fb\u6027\u306b\u53ca\u307c\u3059\u5f71\u97ff\u306b\u3064\u3044\u3066\u3082\u5206\u6790\u3057\u305f\u3002\u305d\u306e\u7d50\u679c\u3001\u771f\u7a7a\u713c\u7d50\u3088\u308a\u3082Ar\u4e2d\u3067\u306e\u713c\u7d50\u306e\u65b9\u304c\u3001b-a\u76f8\u8ee2\u79fb\u3068N\u30c9\u30fc\u30d4\u30f3\u30b0\u304c\u6e1b\u5c11\u3059\u308b\u305f\u3081\u3001\u96fb\u6c17\u62b5\u6297\u7387\u306e\u4f4e\u4e0b\u306b\u6210\u529f\u3059\u308b\u3053\u3068\u304c\u308f\u304b\u3063\u305f\u3002<\/p>\n
\u71b1\u4f1d\u5c0e\u7387\u3082\u70ad\u7d20\u6dfb\u52a0\u91cf\u306e\u5897\u52a0\u3068\u3068\u3082\u306b\u6539\u5584\u3055\u308c\u305f\u304c\u3001\u3053\u308c\u306f\u304a\u305d\u3089\u304f\u904e\u5270\u306a\u70ad\u7d20\u304cSiC\u683c\u5b50\u5185\u3067\u56fa\u6eb6\u4f53\u3092\u5f62\u6210\u3057\u3001\u3088\u308a\u81ea\u7531\u306a\u30d5\u30a9\u30ce\u30f3\u306e\u6d41\u308c\u3092\u53ef\u80fd\u306b\u3059\u308b\u305f\u3081\u3067\u3042\u308d\u3046\u3002\u3055\u3089\u306b\u3001\u713c\u7d50\u306b\u3088\u3063\u3066SiC\u7d50\u6676\u306e\u683c\u5b50\u5b9a\u6570\u304c\u5909\u5316\u3057\u3001C-SiC\u304a\u3088\u3073Si-SiC\u8a66\u6599\u304c\u7d14SiC\u8a66\u6599\u3088\u308a\u3082\u30bc\u30fc\u30d9\u30c3\u30af\u4fc2\u6570\u304c\u9ad8\u3044\u7406\u7531\u306e\u4e00\u56e0\u3068\u306a\u3063\u3066\u3044\u308b\u53ef\u80fd\u6027\u304c\u3042\u308b\u3002<\/p>\n
\u70ad\u5316\u30b1\u30a4\u7d20\u306f\u3001\u975e\u5e38\u306b\u786c\u304f\u3001\u8010\u85ac\u54c1\u6027\u306b\u512a\u308c\u3001\u71b1\u4f1d\u5c0e\u6027\u306b\u512a\u308c\u305f\u6750\u6599\u3067\u3001\u30c8\u30e9\u30a4\u30dc\u30ed\u30b8\u30fc\u3001\u96fb\u6c17\u3001\u6a5f\u68b0\u3001\u539f\u5b50\u529b\u306a\u3069\u3001\u3042\u3089\u3086\u308b\u7523\u696d\u3067\u4f7f\u7528\u3055\u308c\u3066\u3044\u307e\u3059\u3002\u6469\u64e6\u7387\u3068\u6469\u8017\u7387\u304c\u4f4e\u3044\u305f\u3081\u3001\u52d5\u529b\uff08P\uff09\u306f\u4f4e\u304f\u3066\u3082\u901f\u5ea6\u3084\u56de\u8ee2\u6570\uff08V\uff09\u306f\u9ad8\u3044\u72b6\u614b\u3067\u4f7f\u7528\u3059\u308b\u3053\u3068\u304c\u3067\u304d\u3001\u5727\u7e2e\u8377\u91cd\u3068\u9ad8\u3044\u647a\u52d5\u901f\u5ea6\u306e\u4e21\u65b9\u306b\u8010\u3048\u308b\u5fc5\u8981\u304c\u3042\u308b\u30e1\u30ab\u30cb\u30ab\u30eb\u30b7\u30fc\u30eb\u90e8\u6750\u306b\u7279\u306b\u6709\u7528\u3067\u3059\u3002<\/p>\n
\u3057\u304b\u3057\u3001n\u578b\u516d\u65b9\u6676\u70ad\u5316\u30b1\u30a4\u7d20\u306e\u56fa\u6709\u5c0e\u96fb\u7387\u306f\u4f4e\u3044\u3002\u3053\u308c\u3092\u3055\u3089\u306b\u9ad8\u3081\u3001\u5c0e\u96fb\u7387\u3092\u3055\u3089\u306b\u5411\u4e0a\u3055\u305b\u308b\u306b\u306f\u3001LPP\u30670.01bar\u306e\u5727\u529b\u3092\u7528\u3044\u3066\u7d50\u6676\u306b\u7d30\u5b54\u3092\u5f62\u6210\u3059\u308b\u306a\u3069\u306e\u4f4e\u5727\u6db2\u76f8\uff08LPP\uff09\u6280\u8853\u306b\u3088\u3063\u3066\u6c17\u5b54\u7387\u3092\u9ad8\u3081\u308b\u5fc5\u8981\u304c\u3042\u308b\u3002\u3053\u308c\u306f\u3001\u3088\u308a\u9ad8\u54c1\u8cea\u306e\u591a\u5b54\u8cea\u70ad\u5316\u30b1\u30a4\u7d20\u88fd\u54c1\u3092\u88fd\u9020\u3057\u306a\u304c\u3089\u3001\u71b1\u9593\u9759\u6c34\u5727\u30d7\u30ec\u30b9\u306a\u3069\u306e\u5f93\u6765\u306e\u65b9\u6cd5\u3088\u308a\u3082\u306f\u308b\u304b\u306b\u5b89\u4fa1\u3067\u3042\u308b\u3002<\/p>\n
\u70ad\u5316\u30b1\u30a4\u7d20\u306e\u591a\u5b54\u8cea\u69cb\u9020\u306f\u3001\u96fb\u5b50\u304c\u81ea\u7531\u306b\u901a\u904e\u3067\u304d\u308b\u305f\u3081\u3001\u96fb\u6c17\u62b5\u6297\u304c\u6e1b\u5c11\u3057\u3001\u5c0e\u96fb\u6027\u304c\u5411\u4e0a\u3059\u308b\u3002\u3053\u306e\u52b9\u679c\u306f\u3001\u30d0\u30f3\u30c9\u30ae\u30e3\u30c3\u30d7\u4ed8\u8fd1\u306b\u5f62\u6210\u3055\u308c\u308b\u30a8\u30cd\u30eb\u30ae\u30fc\u6e96\u4f4d\u306b\u3088\u3063\u3066\u9054\u6210\u3055\u308c\u308b\u3002\u3053\u306e\u30a8\u30cd\u30eb\u30ae\u30fc\u6e96\u4f4d\u306f\u3001C\u3084N2\u30a2\u30af\u30bb\u30d7\u30bf\u30fc\u306a\u3069\u306e\u3055\u307e\u3056\u307e\u306a\u6dfb\u52a0\u5264\u3092\u7528\u3044\u3066\u5909\u5316\u3055\u305b\u308b\u3053\u3068\u304c\u3067\u304d\u3001\u96fb\u6c17\u62b5\u6297\u7387\u3092\u4e0b\u3052\u308b\u4e00\u65b9\u3067\u3001B\u3084V\u30c9\u30ca\u30fc\u306f\u96fb\u6c17\u62b5\u6297\u7387\u3092\u4e0a\u3052\u308b\u3002<\/p>\n
\u671b\u307e\u3057\u3044\u6c17\u5b54\u7387\u3092\u9054\u6210\u3059\u308b\u305f\u3081\u306b\u306f\u3001\u713c\u7d50\u30d1\u30e9\u30e1\u30fc\u30bf\u3092\u6ce8\u610f\u6df1\u304f\u7ba1\u7406\u3059\u308b\u3053\u3068\u304c\u91cd\u8981\u3067\u3042\u308b\u3002\u3055\u3089\u306b\u3001\u4f8b\u3048\u3070\u3001\u539f\u6599\u30d0\u30c3\u30c1\u306b\u30dd\u30ea\u30de\u30fc\u30d5\u30e5\u30fc\u30b8\u30c6\u30a3\u30d6\u3092\u6dfb\u52a0\u3059\u308b\u306a\u3069\u3057\u3066\u3001\u5fae\u7d30\u69cb\u9020\u306e\u5b8c\u5168\u6027\u3092\u7dad\u6301\u3059\u308b\u6761\u4ef6\u4e0b\u3067\u30d7\u30ed\u30bb\u30b9\u3092\u884c\u3046\u5fc5\u8981\u304c\u3042\u308a\u307e\u3059\u3002\u3053\u308c\u306b\u3088\u308a\u3001\u713c\u7d50\u4e2d\u306e\u6c17\u5b54\u306e\u5927\u304d\u3055\u3001\u5f62\u72b6\u3001\u91cf\u3092\u5236\u5fa1\u3057\u3001\u6c17\u5b54\u7387\u3092\u5236\u5fa1\u3059\u308b\u3053\u3068\u304c\u3067\u304d\u307e\u3059\u3002<\/p>\n
\u591a\u5b54\u8ceaSiC\u306e\u4e3b\u306a\u7528\u9014\u306e\u4e00\u3064\u306f\u30e1\u30ab\u30cb\u30ab\u30eb\u30b7\u30fc\u30eb\u306e\u90e8\u6750\u3067\u3042\u308a\u3001\u9ad8\u3044PV\u3068\u647a\u52d5\u901f\u5ea6\u306e\u4e21\u65b9\u306e\u6761\u4ef6\u306b\u8010\u3048\u306a\u3051\u308c\u3070\u306a\u3089\u305a\u3001\u540c\u6642\u306b\u6e29\u5ea6\u5909\u52d5\u306b\u3082\u5bfe\u5fdc\u3057\u306a\u3051\u308c\u3070\u306a\u3089\u306a\u3044\u3002\u3053\u306e\u3088\u3046\u306a\u7279\u6027\u306b\u3088\u308a\u3001\u591a\u5b54\u8ceaSiC\u306f\u30e1\u30ab\u30cb\u30ab\u30eb\u30b7\u30fc\u30eb\u3060\u3051\u3067\u306a\u304f\u3001\u4f4e\u6469\u64e6\u30fb\u4f4e\u6469\u8017\u7387\u3092\u8981\u6c42\u3055\u308c\u308b\u4ed6\u306e\u591a\u304f\u306e\u7528\u9014\u306b\u304a\u3044\u3066\u975e\u5e38\u306b\u8cb4\u91cd\u306a\u90e8\u54c1\u3068\u306a\u3063\u3066\u3044\u307e\u3059\u3002<\/p>\n
\u70ad\u5316\u30b1\u30a4\u7d20\u306f\u3001\u30c9\u30fc\u30d4\u30f3\u30b0\u306b\u3088\u3063\u3066\u96fb\u6c17\u7684\u7279\u6027\u3092\u5909\u3048\u308b\u3053\u3068\u304c\u3067\u304d\u308b\u3002\u30c9\u30fc\u30d4\u30f3\u30b0\u306f\u3001\u3088\u308a\u591a\u304f\u306e\u81ea\u7531\u96fb\u8377\u30ad\u30e3\u30ea\u30a2\uff08\u96fb\u5b50\u307e\u305f\u306f\u6b63\u5b54\uff09\u3092\u751f\u6210\u3059\u308b\u4e0d\u7d14\u7269\u3092\u7d50\u6676\u69cb\u9020\u306b\u6dfb\u52a0\u3059\u308b\u3053\u3068\u3092\u542b\u3080\u3002\u30c9\u30fc\u30d4\u30f3\u30b0\u306f\u70ad\u5316\u30b1\u30a4\u7d20\u306e\u96fb\u6c17\u4f1d\u5c0e\u6027\u3092\u5897\u6e1b\u3055\u305b\u308b\u3053\u3068\u304c\u3067\u304d\u3001\u6750\u6599\u7279\u6027\u3092\u8abf\u6574\u3059\u308b\u52b9\u7387\u7684\u306a\u624b\u6bb5\u3068\u3057\u3066\u534a\u5c0e\u4f53\u7523\u696d\u3067\u5e83\u304f\u884c\u308f\u308c\u3066\u3044\u307e\u3059\u3002<\/p>\n
\u70ad\u5316\u30b1\u30a4\u7d20\u306e\u30c9\u30fc\u30d4\u30f3\u30b0\u306f\u3001SiC\u539f\u5b50\u3088\u308a\u3082\u4fa1\u96fb\u5b50\u6570\u306e\u5c11\u306a\u3044\u4e0d\u7d14\u7269\u3092\u7d50\u6676\u69cb\u9020\u306b\u5c0e\u5165\u3059\u308b\u3053\u3068\u3067\u3001\u30d0\u30f3\u30c9\u30ae\u30e3\u30c3\u30d7\u306b\u7a7a\u306e\u96fb\u5b50\u72b6\u614b\u3092\u4f5c\u308a\u51fa\u3057\u3001\u4fa1\u96fb\u5b50\u5e2f\u304b\u3089\u71b1\u52b1\u8d77\u3055\u308c\u305f\u96fb\u5b50\u306b\u3088\u3063\u3066\u57cb\u3081\u308b\u3053\u3068\u304c\u3067\u304d\u308b\u3002\u3053\u306e\u30d7\u30ed\u30bb\u30b9\u306f\u3001N\u578b\u534a\u5c0e\u4f53\u3068\u3057\u3066\u77e5\u3089\u308c\u308b\u3082\u306e\u3092\u4f5c\u308a\u51fa\u3059\u3002\u3053\u306e\u7279\u6027\u3092\u3055\u3089\u306b\u5909\u5316\u3055\u305b\u308b\u305f\u3081\u306b\u3001\u4e00\u90e8\u306eSiC\u539f\u5b50\u3092Al\u3001Be\u3001\u30db\u30a6\u7d20\u3001\u30ac\u30ea\u30a6\u30e0\u539f\u5b50\u306a\u3069\u306e\u4fa1\u96fb\u5b50\u6570\u306e\u591a\u3044\u3082\u306e\u3068\u7f6e\u63db\u3059\u308b\u3053\u3068\u3067p\u578b\u534a\u5c0e\u4f53\u3092\u5f62\u6210\u3059\u308b\u3053\u3068\u304c\u3067\u304d\u308b\u3002<\/p>\n
\u307b\u3068\u3093\u3069\u306e\u534a\u5c0e\u4f53\u30c7\u30d0\u30a4\u30b9\u306f\u3001N\u578b\u534a\u5c0e\u4f53\u3068p\u578b\u534a\u5c0e\u4f53\u3092PN\u63a5\u5408\u3067\u7d44\u307f\u5408\u308f\u305b\u3001\u9806\u65b9\u5411\u30d0\u30a4\u30a2\u30b9\u3067\u52d5\u4f5c\u3055\u305b\u308b\u3002\u9806\u65b9\u5411\u30d0\u30a4\u30a2\u30b9\u306b\u3088\u3063\u3066\u8a98\u5c0e\u3055\u308c\u305fp\u578b\u534a\u5c0e\u4f53\u306e\u6b63\u306e\u30d3\u30eb\u30c8\u30a4\u30f3\u96fb\u4f4d\u3092\u4ecb\u3057\u3066\u3001\u4e00\u65b9\u306e\u534a\u5c0e\u4f53\u304b\u3089\u4ed6\u65b9\u306e\u534a\u5c0e\u4f53\u3078\u306e\u96fb\u5b50\u306e\u6d41\u308c\u3092\u8a98\u5c0e\u3057\u3001N\u578b\u534a\u5c0e\u4f53\u306b\u3088\u308a\u81ea\u7531\u306b\u6d41\u308c\u8fbc\u307e\u305b\u3066\u96fb\u6c17\u4f1d\u5c0e\u5ea6\u3092\u9ad8\u3081\u308b\u3002<\/p>\n
\u30aa\u30fc\u30df\u30c3\u30af\u4f1d\u5c0e\u306f\u3001\u96fb\u5b50\u30a8\u30cd\u30eb\u30ae\u30fc\u304c\u534a\u5c0e\u4f53\u6750\u6599\u5185\u3067\u6563\u9038\u3057\u3066\u71b1\u3092\u767a\u751f\u3055\u305b\u3001\u305d\u306e\u96fb\u6c17\u4f1d\u5c0e\u7387\u3092\u5897\u52a0\u3055\u305b\u308b\u3053\u3068\u3067\u8d77\u3053\u308a\u3001\u3057\u305f\u304c\u3063\u3066\u30c7\u30d0\u30a4\u30b9\u306e\u6e29\u5ea6\u306f\u5370\u52a0\u96fb\u5727\u3092\u5909\u3048\u308b\u3053\u3068\u3067\u5909\u3048\u308b\u3053\u3068\u304c\u3067\u304d\u308b\u3002<\/p>\n
\u591a\u5b54\u8cea\u70ad\u5316\u30b1\u30a4\u7d20\u306e\u96fb\u6c17\u4f1d\u5c0e\u7387\u306f\u3001\u30c9\u30fc\u30d4\u30f3\u30b0\u6fc3\u5ea6\u3001\u6e29\u5ea6\u3001\u96fb\u5834\u306a\u3069\u306e\u3044\u304f\u3064\u304b\u306e\u5909\u6570\u306b\u4f9d\u5b58\u3059\u308b\u30022\u7a2e\u985e\u306e\u591a\u5b54\u8cea\u70ad\u5316\u30b1\u30a4\u7d20\u306b\u95a2\u3059\u308b\u7814\u7a76\u306b\u3088\u308b\u3068\u30014H-SiC\u306f6H-SiC\u3088\u308a\u3082\u5c0e\u96fb\u7387\u304c\u9ad8\u304f\u3001\u3055\u3089\u306b\u30c9\u30fc\u30d1\u30f3\u30c8\u3068\u6c17\u5b54\u7387\u304c\u5c0e\u96fb\u7387\u306b\u5927\u304d\u304f\u5f71\u97ff\u3059\u308b\u3053\u3068\u304c\u793a\u3055\u308c\u305f\u3002<\/p>\n
\u591a\u5b54\u8cea\u70ad\u5316\u30b1\u30a4\u7d20\u306f\u3001\u8907\u5408\u6750\u6599\u3084\u7e4a\u7dad\u306b\u5229\u7528\u3055\u308c\u308b\u3053\u3068\u304c\u6700\u3082\u591a\u304f\u3001\u6700\u3082\u4e00\u822c\u7684\u306a\u7528\u9014\u3068\u3057\u3066\u306f\u3001\u30b7\u30ea\u30ab\u3084\u91d1\u5c5e\u3092\u542b\u3080\u30de\u30c8\u30ea\u30c3\u30af\u30b9\u3067\u4f5c\u3089\u308c\u305f\u8907\u5408\u6750\u6599\u3084\u3001\u5316\u5b66\u6c17\u76f8\u6d78\u900f\u6cd5\u3084\u30dd\u30ea\u30de\u30fc\u542b\u6d78-\u71b1\u5206\u89e3\u6cd5\u3067\u4f5c\u3089\u308c\u305f\u70ad\u7d20\u30ea\u30c3\u30c1\u7e4a\u7dad\u304c\u3042\u308a\u307e\u3059\u3002\u4f8b\u3048\u3070\u3001Matmatch\u306f\u69d8\u3005\u306a\u70ad\u5316\u30b1\u30a4\u7d20\u30e1\u30fc\u30ab\u30fc\u306e\u88fd\u54c1\u3092\u5e45\u5e83\u304f\u53d6\u308a\u63c3\u3048\u3066\u3044\u307e\u3059\u3002<\/p>","protected":false},"excerpt":{"rendered":"
Silicon carbide (SiC) is an intermetallic solid that lies somewhere between metals (which conduct electricity) and insulators, with wide band gaps and high electron mobility, making it an attractive material choice for power electronics applications. Silicon’s ability to resist chemical attack at high temperatures and its strength across a broad temperature range make it ideal for resistance heating elements in semiconductor furnaces and thermistors; however, unlike metals it does not conduct electricity as efficiently. Conductivity Silicon carbide (SiC) is an extremely hard, tough material with many unique properties that can be tailored for different applications. As an insulator at lower temperatures and conductor at higher ones, this makes SiC an …<\/p>\n