Lucidatura del carburo di silicio
Il carburo di silicio (SiC) può essere difficile da lucidare a causa della sua estrema durezza. La lucidatura chimica è quindi spesso utilizzata per produrre finiture superficiali di alta qualità. Il CMP utilizza sia reazioni chimiche che tecniche di rimozione meccanica per planarizzare i wafer di SiC. Nel processo CMP, un ossidante presente nello slurry di lucidatura reagisce con i campioni di SiC per formare ...